未来纳米电子器件构筑基元——简评《硅纳米线分析》

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由于传统的“自上而下”的微电子工艺受经典物理学理论的限制,依靠这一工艺来减小电子器件尺寸将变得越来越困难,但摩尔定律指出.在微处理器中晶体管的数量在18个月内就要翻一番.且晶体管的面积和成本也不断地成比例下降,这就引发了目前工艺和电子器件发展之间的矛盾.这一矛盾的解决要求半导体领域的科研工作者去寻求新的工艺手段和新型半导体材料来满足未来半导体器件微型化发展的要求。硅基一维纳米材料被认.为是未来微电子器件微型化的关键材料之一.它与现代硅基微电子体系完全兼容.可作为纳米器件的基本结构基元.因此在未来电子器件的
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