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为了研究制备条件对射频溅射ZnS薄膜光学常量和微结构的影响，在浮法玻璃上制备了不同溅射气压、溅射功率和溅射温度的ZnS薄膜，利用紫外可见近红外分光光度计在300-2500nm的波长范围内测量了薄膜的透射和反射光谱，并通过光谱拟和计算出ZnS薄膜的光学常量以及禁带宽度。通过X射线衍射分析了薄膜的微结构随溅射温度的改变．研究结果表明，随着制备条件的不同，ZnS薄膜的光学常量和微结构会发生变化．