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为了预测进而抑制光电系统伺服驱动器运行过程中产生的电磁干扰,需要研究其高频等效模型的建立及干扰特性分析方法.基于电子线路器件的非理想特性和耦合路径寄生特性,建立了伺服驱动电路行为级仿真模型,结合ANSYS软件平台进行多域协同仿真预测传导干扰发射,通过该模型量化论证高频驱动及RC吸收回路对干扰特性的影响.在测试平台下验证150 kHz～10 MHz频段范围内仿真与实测频谱曲线趋势基本吻合,说明该模型可作为预测评估伺服驱动器电磁兼容性的一种可行方案.