【摘 要】
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利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌（ZnO：Ti,TZO）透明导电薄膜。通过X射线衍射（XRD）研究了薄膜的结构,用扫描电镜（SEM）研究了薄膜的表面形貌,用四探
【基金项目】
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山东省自然科学基金（ZR2009GL015）资助项目
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利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌（ZnO：Ti,TZO）透明导电薄膜。通过X射线衍射（XRD）研究了薄膜的结构,用扫描电镜（SEM）研究了薄膜的表面形貌,用四探针和紫外-可见分光光度计等仪器对薄膜的特性进行测试分析,研究了溅射压强对ZnO：Ti薄膜表面结构、形貌、力学、电学和光学性能的影响。结果表明,溅射压强对PET衬底上的TZO薄膜的性能有显著的影响,实验制备的ZnO：Ti薄膜为具有C轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜;当溅射压强从2Pa增加到4Pa时,薄膜的电阻率
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