论文部分内容阅读
采用阴极电沉积法,在Zn(NO3)2水溶液中,以304不锈钢为衬底制备了ZnO薄膜,研究了Zn^2+浓度和电流密度对ZnO薄膜择优取向的影响规律。XRD结果表明:随着Zn^2+浓度和电流密度增大,ZnO薄膜逐渐由(002)面择优取向生长转变为(101)面择优取向生长;当Zn^2+浓度为0.005mol·L^-1、电流密度为2.0mA·cm^-2或Zn^2+浓度为0.05mol·L^-1、电流密度为0.5mA·cm^-2时,可以得到(002)面择优取向生长的ZnO薄膜