【摘 要】
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本文总结了用于可变矩形电子束曝光机激光定位工件台电控系统的研制及实验经验。探讨并解决了高速运行工件台的精确定位问题。本电控系统由微机控制,双频激光测量,运行造度快
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本文总结了用于可变矩形电子束曝光机激光定位工件台电控系统的研制及实验经验。探讨并解决了高速运行工件台的精确定位问题。本电控系统由微机控制,双频激光测量,运行造度快、定位精度高、效率高、稳定可靠,操作方便,灵活。
This paper summarizes the research and experimental experience of the electronically controlled system for the laser positioning of the workpiece table for a variable rectangular electron beam exposure machine. Explore and solve the precise positioning of high-speed workpiece stage. The electronic control system consists of computer control, dual-frequency laser measurement, fast operating system, high positioning accuracy, high efficiency, stable and reliable, easy to operate and flexible.
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