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针对模具结构化表面难以采用传统抛光工具实现精密光整加工的问题，提出了一种基于软性磨粒流（SAF）的模具结构化表面无工具精密加工新技术。该技术通过约束模块与结构化表面组合构成特定形状的磨粒流流道，利用SAF在流道中的湍流流动使磨粒对结构化表面进行微力微量切削，进而实现光整加工。介绍了SAF加工技术原理、SAF流体力学特征以及加工机理的理论研究进展和加工试验结果，给出了描述SAF加工的材料去除效果的定量化数学模型以及工艺参数与表面粗糙度关系的经验公式。