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应用低能离子束辅助磁控溅射（IBAMS）沉积铬-铜-氮薄膜，研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响。结果表明：在相同的轰击能量（400eV）下，铜含量对薄膜结构和硬度的影响不明显，但是铜的加入有利于提高薄膜的断裂韧度；离子辅助轰击能量从400eV增加到800eV时薄膜的结构发生了显著变化，断裂韧度和硬度均大幅度提高。