论文部分内容阅读
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用
【摘 要】
：
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.
【机 构】
：
科电工程有限公司成员公司--MACROTRON科学工程公司,香港(鱼则)鱼英涌皇道979号太古坊常盛大厦北翼9字楼
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2003年5期
其他文献
在矿井通风优化中,会遇到矿井通风网络与矿井运行主扇是否匹配的问题。本文就是利用工具matlab6.5使矿井通风总阻力与矿井运行主扇有机衔接起来,迅速准确地找到风机工况点,并
河南省作为中部大省,近年来经济发展势头非常迅猛,但是这种发展也主要依靠于投资的拉动作用。在金融危机导致我国经济发展下行和“扩大内需”政策的影响下,河南省经济发展的
1 项目背景rn三门峡火电厂位于河南省三门峡市陕县大营乡,由华北电力设计院进行设计.锅炉采用哈尔滨锅炉厂的超超临界参数变压运行直流炉,超超临界参数、变压直流炉、单炉膛
期刊
把来自大量受监视通道的数据记录下来,这通常需要大量内存来保存测量的数据.遗憾的是,较小的微控制器只提供数量有限的内部数据RAM和E2PROM,并且可能还缺乏用于添加外部存储
股份制企业是一种现代化的公司组织方式，它通过公司控制权和经营权的分离从而同时获得资金积聚和专业化管理的优势。股权结构则是股份制企业的主要特征，它决定着公司组织结构和
1 项目背景rn中天合创大型煤炭深加工DCS项目,依托于中天合创能源有限责任公司开展的煤炭深加工示范项目.本项目由中天合创能源有限责任公司(ZTHC)、中石化宁波工程有限公司(
期刊