【摘 要】
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根据磁控溅射实验条件,采用分子动力学方法,在Si(100)面上模拟沉积了三种ZrxCu100-x(x=50,70和90)合金薄膜.通过计算径向分布函数(RDF)及X射线衍射(XRD)分析了沉积薄膜的形貌
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51375041,21703007);中央高校基本科研业务资助项目(FRF-TP-16-044A1)
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根据磁控溅射实验条件,采用分子动力学方法,在Si(100)面上模拟沉积了三种ZrxCu100-x(x=50,70和90)合金薄膜.通过计算径向分布函数(RDF)及X射线衍射(XRD)分析了沉积薄膜的形貌结构,并探讨了玻璃形成能力和五重局部对称性之间的关系.最后研究了沉积薄膜的力学性能,及薄膜厚度对拉伸过程的影响.研究结果表明:Zr-Cu合金玻璃形成能力与五重局部对称性之间存在一定的相关性,沉积玻璃薄膜比晶体薄膜表现出更好的延展性,其中Zr50Cu50沉积玻璃薄膜比近共晶成分玻璃薄膜(Zr70Cu30)具有更大的拉伸强度;沉积薄膜存在一定的尺寸效应,薄膜相对厚度越小,其拉伸强度越大.
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