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外界振动是影响超精密加工精度的主要因素，进行机床有效的隔振是解决问题的关键。这里对超精密加工中的隔振技术进行了研究，提出了一种有效的隔振方法：自平衡充气式隔振技术。阐述了其结构和隔振原理，并对该系统的隔振性能进行了实验验证
超精密机床自平衡充气式隔振技术
【摘 要】
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外界振动是影响超精密加工精度的主要因素，进行机床有效的隔振是解决问题的关键。这里对超精密加工中的隔振技术进行了研究，提出了一种有效的隔振方法：自平衡充气式隔振技术。阐
【机 构】
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【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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1999年05期
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