【摘 要】
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减反膜应用可降低气—固界面的菲涅尔反射，是提升光电转换效率晶硅太阳电池的有效手段之一。以商业化双面PERC单晶硅太阳电池（尺寸：182 mm×182 mm）为研究对象，以SiOx Ny（1）/SiNx（3）作为电池正面减反膜改善入射光子利用率。与传统SiNx（4）减反膜相比，SiOxNy（1）/SiNx（3）减反膜可显著降低300 nm～500 nm波段内光子反射率，短波段光子减反效果尤为明显。对
【基金项目】
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国家自然科学基金（51862017）； 江西省科技厅科技国合项目（20212BDH80005）;江西省科技厅重点研发项目（20202BBE53018）； 景德镇市环境陶瓷材料重点实验室项目（20192PTJS002）； 景德镇市科技局项目（20202GYZD013-10）；
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减反膜应用可降低气—固界面的菲涅尔反射，是提升光电转换效率晶硅太阳电池的有效手段之一。以商业化双面PERC单晶硅太阳电池（尺寸：182 mm×182 mm）为研究对象，以SiOx Ny（1）/SiNx（3）作为电池正面减反膜改善入射光子利用率。与传统SiNx（4）减反膜相比，SiOxNy（1）/SiNx（3）减反膜可显著降低300 nm～500 nm波段内光子反射率，短波段光子减反效果尤为明显。对应电池在标准测试条件下(AM1.5,1000 w·m-2,25℃)所测定平均光电转换效率可达23.227%，高于传统减反膜的电池效率（23.128%）。根据SERIS-V1.5软件对QE谱积分电流损失分析结果表明：基于SiOx Ny（1）/SiNx（3）减反膜电池电流损失相对采用传统SiNx（4）减反膜电池，反射部分造成的电流损耗可降至0.867 mA·cm-2，且其他电学性能参数如开路电压及填充均得到一定程度改善，但并不实质影响电池背面效率。此外，基于SiOxNy（1）/SiNx（3）减反膜电池规模生产终端EL测试良率与传统减反层电池相当，有望实现规模化生产。
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