【摘 要】
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一、前言基于离子光学原理的质谱仪器,象其它许多电子或离子光学仪器一样,需要高真空或超高真空条件。在这类仪器的制造过程中,保证处于真空气氛中的零部件的真空性能是十分
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一、前言基于离子光学原理的质谱仪器,象其它许多电子或离子光学仪器一样,需要高真空或超高真空条件。在这类仪器的制造过程中,保证处于真空气氛中的零部件的真空性能是十分重要的,其中连接方法就是关键的工艺问题之一。
I. INTRODUCTION Mass spectrometry instruments based on ion optics, like many other electronic or ion optics, require high vacuum or ultra-high vacuum conditions. In the manufacture of such instruments, it is important to ensure the vacuum performance of the parts in a vacuum atmosphere, where the method of joining is one of the key process issues.
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