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【摘 要】
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求取未知参数或有面形误差的实际非球面光学零件面型方程,在非球面加工精度分析、光学系统成像质量分析、拆解分析光学镜头等方面都有实际需求。分析了Taylor Hobson轮廓仪测
【机 构】
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华中光电技术研究所武汉光电国家实验室,
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2011年04期
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