论文部分内容阅读
分无镀膜(或镀膜很薄)和有较厚镀膜两种情况，对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算.针对有较厚镀膜的硅微谐振器，在理论分析的基础上，提出了一种新的光激振幅计算模型，理论计算与实验测试值吻合得很好.
光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算
【摘 要】
：
分无镀膜(或镀膜很薄)和有较厚镀膜两种情况，对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算.针对有较厚镀膜的硅微谐振器，在理论分析的基础上，提出了一种新的光激振幅计算模型，理论计
【机 构】
：
西安交通大学电气测量教研室,西安交通大学电气测量教研室,西安理工大学
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
：
2001年1期
【基金项目】
：
国家自然科学基金，陕西省教育厅资助项目
其他文献
基于光的波动理论,对紫外光立体成型技术中的聚焦光能量场进行了深入的理论分析,阐明了点光源所辐射的连续球面波在凹椭球面上的反射聚焦理论及反射光波场轴向和侧向的能量分