【摘 要】
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Numerical analysis and simulation have been an effective means to develop the advanced growth technology and to control the defects type, size and density for s
【机 构】
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National Engineering Research Center for Semiconductor Materials, General Research Institute for Non
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Numerical analysis and simulation have been an effective means to develop the advanced growth technology and to control the defects type, size and density for silicon crystals of 300 mm and beyond In the present paper, numerical analysis of the melt flow in the Czochralski (CZ) crystal growth configuration, the three dimensional (3D) modeling, the simulation of melt flow under the magnetic field, the inverse modeling and the time-dependent simulation are reviewed. Finally, comparison of numerical analysis with experimental measurements is discussed.
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