【摘 要】
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垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)不同于其他普通光源,它具有较小的圆心光斑输出,单颗器件尺寸仅在立方微米级别,还可以利用半导体工艺进
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垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)不同于其他普通光源,它具有较小的圆心光斑输出,单颗器件尺寸仅在立方微米级别,还可以利用半导体工艺进行大规模的生产,所以其价格十分低廉、激发的电流低、且易于集成大面积阵列。其广泛应用于激光通信、激光存储、激光打印等领域。目前,GaAs基的VCSEL器件在国内的研究已经比较成熟,且已产业化,而GaN基的VCSEL器件的研究尚未成熟。GaN基VCSEL器件制备当前面临的难题是三个中心波长的对准问题,即分
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