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研究了一种基于MEMS陀螺和加速度计的惯性测量单元（IMU）的系统标定技术，建立了陀螺和加速度计的温度漂移和非线性误差模型，采用逐步线性回归法对以上模型进行了简化，并设计了补偿算法；实时补偿效果表明，在一40℃～60℃的温度变化范围内，惯性测量单元的零位偏值、偏值稳定性和非线性度都达到较高精度，这种误差标定方法可有效解决MEMS-IMU惯性器件误差的标定与补偿问题。