【摘 要】
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本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现,重点阐述了系统结构、调速及测速的原理,最后给出了上位机编程的设计思想。
This paper introduces the composition of t
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院,西安交通大学电气工程学院,西安交通大学电气工程学院 710049,710049,710049
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本文介绍了硅片处理系统的组成及各模块功能的实现,重点阐述了系统结构、调速及测速的原理,最后给出了上位机编程的设计思想。
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