【摘 要】
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单壁碳纳米管（Single-walled carbon nanotube,SWCNT）有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT
【机 构】
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重庆大学机械工程学院,清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,重庆科技学院
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单壁碳纳米管（Single-walled carbon nanotube,SWCNT）有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法。由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据手性的不同在电特性上又各有差异,再加上要合成或合成后分离出单一手性的SWCNT,目前的技术还存在相当大的难度。结合化学气相沉积中的控制生长、控制转移排列整齐有序的SWC-NT阵列与微加工工艺等方法,将SWCNT阵列作为一个器件单元来进行测试,测试结果
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