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文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜，再用薄膜测厚仪和四探针测试仪（EPP）测出样品的厚度及方块电阻，得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件，然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜。
CoSiN薄膜的制备
【摘 要】
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文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜，再用薄膜测厚仪和四探针测试仪（EPP）测出样品的厚度及方块电阻，得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件，然后由CoN和SiN薄膜制备
【机 构】
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安顺学院物理与电子科学系,云南大学材料科学与工程系
【出 处】
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安顺学院学报
【发表日期】
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2013年4期
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