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研究了连续工艺衍射光学元件在实际系统中的宽容度问题,模拟了非理想入射波、系统非共轴以及焦面定位对均匀照明的影响,提出了系统定位精度的重要性,并为实际工程检测提供了有意义的参数.
连续工艺衍射光学元件的应用特性分析
【摘 要】
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研究了连续工艺衍射光学元件在实际系统中的宽容度问题,模拟了非理想入射波、系统非共轴以及焦面定位对均匀照明的影响,提出了系统定位精度的重要性,并为实际工程检测提供了
【机 构】
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中国科学技术大学物理系
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);
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