不同偏压对沉积CrMoN涂层耐磨性能的影响

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采用非平衡闭合场磁控溅射技术,在冷作模具钢Crl2MoV表面制备不同偏压CrMoN涂层。通过XRD、SEM、显微硬度和磨损试验分析等方法考察涂层的相结构、力学性能与耐磨性。实验结果表明:呈面心立方结构的CrMoN涂层不同程度地强化了基体表面(Hv0.25N1000~1800),摩擦系数降低至0.3~0.35,经18h磨损试验后,60、75V偏压沉积的涂层的磨损体积(2.01×10^-3mm’)约为未处理试样磨损体积(10.0l×10^-33mm^3)的1/5。涂层磨损机理主要为“微犁沟
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