纳米级类金刚石梯度膜机械特性研究

来源 :材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lv_yj

【摘要】

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本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18N9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜(AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜

【作者】

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马峰蔡珣李刚马洪涛

【机构】

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上海交通大学,清华大学

【出处】

：

材料科学与工程

【发表日期】

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2002年2期

【关键词】

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纳米级类金刚石梯度膜机械特性喇曼光谱原子力显微镜纳米压力技术力学性能 diamond like carbon nanoindentation Ram

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本文采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18N9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜(AFM)及喇曼光谱等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成,同时采用了纳米压入技术评定膜层的力学性能.实验结果表明,采用此方法制备的金刚石膜组织致密,性能良好.

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