【摘 要】
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硅压阻应变计已广泛应用,尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道,到目前为止,它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺,它使得在同一传感器上同
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硅压阻应变计已广泛应用,尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道,到目前为止,它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺,它使得在同一传感器上同时得到所有的优点.
Silicon piezoresistive gauges have been widely used, especially for pressure sensors, and we know from the most commonly used processes that none of them has so far been successful in obtaining all the required quantities (Table 1). Thanks to the SIMOX process, It gives all the advantages at the same time on the same sensor.
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