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期刊论文
n型金属氧化物气敏元件的反应温变
n型金属氧化物气敏元件的反应温变
来源 :山东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qf0909
【摘 要】
:
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变△trea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变△trea的关系式.讨论了表面反应速率方
【作 者】
:
李宇兵
刘晓健
张宝才
李蕾
刘文利
【机 构】
:
山东工业大学华天公司济南半导体研究所;山东工业大学数理系,济南,250061;
【出 处】
:
山东工业大学学报
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
气敏元件
反应速度
灵敏度/反应温变
反应几率
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提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变△trea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变△trea的关系式.讨论了表面反应速率方程,气体分子表面反应几率等问题.
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