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对采用中子嬗变掺杂(NTD)技术生产硅单晶作了研究,给出了几种不同气氛下成晶的NTD硅单晶对器件性能影响的试验结果及数据分析.
中子嬗变掺杂硅单晶pn结击穿特性的研究
【摘 要】
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对采用中子嬗变掺杂(NTD)技术生产硅单晶作了研究,给出了几种不同气氛下成晶的NTD硅单晶对器件性能影响的试验结果及数据分析.
【出 处】
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电力电子技术
【发表日期】
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1994年01期
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