制备非晶态Si∶F∶H合金膜的新方法

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①用Si H_4+HF混合气氛制备a-Si:F:H合金膜:在国内SiH_4和HF皆有商品供应,容易获取.而且在辉光放电系统中Si H_4的分解要比Si F_4容易.因此,采用SiH_4+FH混合气氛为制备a-Si:F:H合金膜的原料是可行的.在全不锈钢系统中使用r·f辉光放电技术,为了获得均匀的薄膜对气流通入的形式做了必要的改进. ① Preparation of a-Si: F: H alloy film with Si H_4 + HF mixture: SiH_4 and HF are commercially available in China and are easy to obtain, and Si H_4 is more easily decomposed than Si F_4 in a glow discharge system. , It is feasible to use SiH4 + FH mixed gas as the raw material for a-Si: F: H alloy film.With r · f glow discharge technology in the whole stainless steel system, Necessary improvements.
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