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采用背散射电子取向成像、扫描电镜、X射线衍射等手段研究了CVD自支撑金刚石膜的宏观织构、微观组织及晶粒取向的演化过程．薄膜制备时的气氛纯度较低，这是引起本文金刚石膜中发现大量孪晶的一个重要原因．杂质原子会降低金刚石的层错能，从而降低孪晶界的形成障碍，促进孪晶生成．频繁的孪晶导致{100}织构转向{122}织构，并弱化薄膜织构，使性能趋向各向同性．{110}取向的晶粒孪晶后仍具有{110}取向，因而在多重孪晶出现时仍可保持一定的稳定性．