【摘 要】
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本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
This paper briefly reviews the process of l
【机 构】
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兰州大学材料科学系,兰州大学材料科学系,兰州大学材料科学系 兰州 730000,兰州 730000,兰州 730000
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本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
This paper briefly reviews the process of low-pressure gas-phase preparation of diamond-like carbon (DLC) films; discusses the formation mechanism of DLC films; reviews the relationship between DLC film properties and process parameters.
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