【摘 要】
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激光谐振腔中的反射镜在激光作用下其镜面产生变形，使反射镜面偏离原设计要求。实验表明，半导体致冷铜镜和硅镜可以很好地补偿激光热变形，使反射镜在承受激光功率的时候，其镜面面
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室
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激光谐振腔中的反射镜在激光作用下其镜面产生变形，使反射镜面偏离原设计要求。实验表明，半导体致冷铜镜和硅镜可以很好地补偿激光热变形，使反射镜在承受激光功率的时候，其镜面面型保持不变。此外，半导体致冷镜还有无压力变形、致冷量可控、致冷均匀等优点。
The mirror in the laser resonator causes its mirror surface to deform under the influence of the laser, so that the mirror surface deviates from the original design requirement. Experiments show that the semiconductor cooling copper mirror and silicon mirror can be well compensated laser thermal deformation, the mirror in the laser power to withstand the mirror surface remains unchanged. In addition, the semiconductor cooling mirror there is no pressure deformation, cooling capacity controllable, uniform cooling and so on.
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