,Dependence of Intrinsic Defects in ZnO Films on Oxygen Fraction Studied by Positron Annihilation

来源 :中国物理快报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：a242269752

【摘要】

：

Defects in ZnO films grown by radio-frequency reactive magnetron sputtering under variable ratios between oxygen and argon gas have been investigated by using t

【作者】

：

PENG Cheng-Xiao WENG Hui-Min YANG Xiao-Jie YE Bang-Jiao CHENG Bin ZHOU Xian-Yi HAN Rong-Dian

【机构】

：

Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026“,”Key Labo

【出处】

：

中国物理快报（英文版）

【发表日期】

：

2006年2期

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Defects in ZnO films grown by radio-frequency reactive magnetron sputtering under variable ratios between oxygen and argon gas have been investigated by using the monoenergetic positron beam technique.

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