脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性

来源 :安阳师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weizai111
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分析了不同退火温度下ZnO薄膜的XRD及PL谱,结果表明:ZnO结构及光学特性的优劣与薄膜中的缺陷紧密联系,而温度是改变晶体缺陷的重要条件.文章详细分析了温度影响ZnO晶体的结构和发光特性的机理.
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