【摘 要】
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用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制,进而实现对最后元素配比的控制。实验中发现,在
【机 构】
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南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜与器件重点实验室,南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜与器件重点实验室,南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜与器件重点实验室,南开大学光电子研究所天津市光电子薄膜与
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用交替溅射的方法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。通过可变占空比的电源控制器实现对Cu/Ga合金靶以及In靶溅射时间的控制,进而实现对最后元素配比的控制。实验中发现,在一个溅射周期中,Cu/Ga合金靶溅射时间对最后成分影响最大,其次是In靶溅射时间,非溅射时间的长短对成分也有影响。交替溅射制备的铜铟镓硒预置层经过XRD检测,合金相主要为Cu11In9。
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