相变制泠复合镜研究

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提出一种新的复合式腔镜结构 ,利用硅镜 (钼镜 )和铜镜的优点 ,避免它们的缺点 ,可以有效地减小热畸变。对钼、铜复合镜作了与硅镜的对比实验。实验结果表明钼、铜复合镜的热畸变比硅镜的约小一半 A new composite cavity mirror structure is proposed, which can effectively reduce the thermal distortion by utilizing the advantages of silicon mirror (molybdenum mirror) and copper mirror to avoid their shortcomings. Molybdenum, copper composite mirror and silicon mirror made a comparative experiment. Experimental results show that the thermal distortion of molybdenum and copper composite mirrors is about half smaller than that of silicon mirrors
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