【摘 要】
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美国新罕布尔州的J.P.Sercel Associ-ates公司生产的IX—300微机械加工系统包括准分子激光器,平均功率为25W,脉冲重复频率为500Hz。系统尺寸为36×56in。整个系统包括小型准
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美国新罕布尔州的J.P.Sercel Associ-ates公司生产的IX—300微机械加工系统包括准分子激光器,平均功率为25W,脉冲重复频率为500Hz。系统尺寸为36×56in。整个系统包括小型准分子激光器、气体系统,花岗岩x/y工作台,光束传输系统。Windows-NT控制系统、2000X视频系统,电源和互锁
The IX-300 micromachining system from J.P. Sercel Associ-ates, New Hampshire, USA, includes an excimer laser with an average power of 25W and a pulse repetition frequency of 500Hz. System size is 36 × 56in. The entire system includes a small excimer laser, a gas system, a granite x / y table, and a beam delivery system. Windows-NT control system, 2000X video system, power supply and interlocking
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