热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhehong220
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利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30~100kHz,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0.03℃.
其他文献
提出了一种适用于Viterbi算法的改进的近似平方算法——二阶近似算法.该算法最大相对误差(maximum relactive error,MRE)和平均相对误差(average relative error,ARE)都非常低