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本文通过对真空器件排气玻璃封接工作中所见玻璃不透明现象的分析,结合反复工艺试验和相关资料,逐一提出了具体有效的解决方法、规避手段或减少(小)措施.通过高倍光学显微镜对比分析改进前后的封接效果,进一步证明解决方法有效,基本解决了文中所述的异常问题,给真空器件的科研生产工作提供了有力保障.
真空器件排气玻璃封接工艺研究
【摘 要】
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本文通过对真空器件排气玻璃封接工作中所见玻璃不透明现象的分析,结合反复工艺试验和相关资料,逐一提出了具体有效的解决方法、规避手段或减少(小)措施.通过高倍光学显微镜
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2011年5期
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