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【摘 要】
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A technique to improve and accelerate aluminum induced crystallization(AIC) by using hydrogen plasma is proposed.Raman spectroscopy and secondary ion mass spect
【机 构】
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Institute of Photo-Electronics,Nankai University,Tianjin Key Laboratory for Photo-Electronic Thin Fi
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2012年06期
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