SnO2纳米棒CH4传感器的自组装研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:silent_snake
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为了能够对低浓度的cH4进行灵敏探测以减少煤矿生产过程中瓦斯爆炸的概率,通过热蒸发SnO2和活性炭混合粉末的自组装制备方式直接在Cr-Au梳状交叉电极上合成了一层SnO2纳米棒气敏层,从而研制出自组装型SnO2纳米棒气敏传感器。经测试,发现此传感器对于浓度为10×10^-6 - 500×10^-6的CH4具有非常好的探测灵敏度,继而从气敏机制、自组装制备方式、SnO2纳米棒的比表面特性及SnO2纳米棒的尺度低于德拜长度等角度解释此传感器对CH4具有高气敏性的原因。
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