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飞秒激光加工技术是一种以多光子吸收为基础,能够实现无热影响的精密加工的新型激光加工技术.该技术将给21世纪各产业的发展带来巨大影响,在汽车、光通信、半导体、个人计算机、生物医疗领域有着广阔的应用前景.
飞秒激光加工机
【摘 要】
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飞秒激光加工技术是一种以多光子吸收为基础,能够实现无热影响的精密加工的新型激光加工技术.该技术将给21世纪各产业的发展带来巨大影响,在汽车、光通信、半导体、个人计算
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2004年5期
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