Ba（Zr0．3Ti0．7）O3薄膜的结构及性能

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lionschen2009

【摘要】

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用溶胶-凝胶法分别在Pt/Ti/SiO2／Si和LaNiO3／Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了锆钛酸钡[Ba（Zr0.3Ti0.7）O3，BZT]。相结构及介电性能研究表明：衬底和薄膜厚度对BZT薄膜性能具有显著影响。制备

【作者】

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高成翟继卫姚熹

【机构】

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同济大学功能材料研究所

【出处】

：

硅酸盐学报

【发表日期】

：

2006年8期

【关键词】

：

锆钛酸钡薄膜介电性能厚度溶胶-凝胶法 barium zirconate titanate thin films dielectric properties

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用溶胶-凝胶法分别在Pt/Ti/SiO2／Si和LaNiO3／Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了锆钛酸钡[Ba（Zr0.3Ti0.7）O3，BZT]。相结构及介电性能研究表明：衬底和薄膜厚度对BZT薄膜性能具有显著影响。制备在LaNiO3／Pt／Ti／SiO2／Si衬底上的BZT薄膜具有（100）面的择优取向，其介电常数及介电损耗则随着薄膜厚度的增加而降低。对制备在Pt／TUSiO2／Si衬底上的BZT薄膜，在薄膜厚度低于500nm时，其介电常数随薄膜厚度增加而增加，大于500nm时又有所减小。

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