【摘 要】
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逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大，对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求，设计了 Ｋ—６５Ｆ风冷金属油扩散泵。本文介绍了 Ｋ—６５Ｆ的特殊结构，论述
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逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大，对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求，设计了 Ｋ—６５Ｆ风冷金属油扩散泵。本文介绍了 Ｋ—６５Ｆ的特殊结构，论述了采用这种结构的理论依据。并运用真空物理中的理论，气体动力学理论和Ｊａｅｃｋｅｌ理论，对Ｋ—６５Ｆ泵作了性能分析，说明设计的合理性，证明这种结构的扩散泵能够满足逆流检漏仪的特殊要求。
Diffusion pump counter-current leak detector is a special purpose diffusion pump. It requires diffuser pump air compression ratio, the maximum compression ratio of helium small. To meet such a requirement, K-65F air-cooled metal oil diffusion pump was designed. This article describes the special structure of K-65F, discusses the theoretical basis for the use of this structure. The performance of the K-65F pump was analyzed with the theory of vacuum physics, the theory of gas dynamics and the Jaeckel theory. The rationality of the design was proved. The diffusion pump of this kind of structure can meet the special requirements of the countercurrent leak detector.
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