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通过引入表示发射指之间热耦合程度的耦合热阻，建立了多指异质结双极晶体管（HBT）热阻模型。基于该模型，僻到了耦合热阻与指间距的变化关系，并用于器件指间距的设计。当耦合热阻均匀分布时，所对应的一套非等值的指间距值便是器件温度均匀分布所要求的指间距值.用该方法得到热阻分布与热模拟得到的温度分布相吻合。但这种方法不必通过热模拟来得到温度分布均匀的SiGeHBT各指间距值，具有快速、直观的优点，为变指间距的设计提供了方便。