【摘 要】
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该论文提出了一种新型的检测电路原理.在引言里,首先简单回顾了MEMS的发展历史,对MEMS的特点以及应用前景作了简要的介绍,并在此基础上介绍了电容式微硅加速度计的分类,结构
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该论文提出了一种新型的检测电路原理.在引言里,首先简单回顾了MEMS的发展历史,对MEMS的特点以及应用前景作了简要的介绍,并在此基础上介绍了电容式微硅加速度计的分类,结构以及工作原理.第一章首先明确了研究可集成化检测电路的必要性,指出了它在提高加速度计的系统性能方面具有十分关键的作用,然后对已经出现的各种检测电路的工作原理作了扼要的介绍,并对它们作了评价.第二章详细论述了该论文提出的基于开关电容的新型检测电路的工作原理.这一章从电容对电荷的存储和传输特点出发,对这种新型检测电路结构思想的形成进行了源头上的介绍,指出电路输出波形的占空比与加速度大小成正比的数学关系.最后对这种电路结构的特点以及它对单元电路的要求都作了仔细的分析.第三章详细地讨论了如何具体设计新型检测电路所需要的各种单元电路,包括全差分CMOS OPA,模拟比较器,振荡器以及激励信号发生电路和时钟控制电路.第四章对该论文的研究成果进行了总结.
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