【摘 要】
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高反镜的背散射是形成激光陀螺腔内背散射的主要原因,散射光降低了器件的精度和灵敏度,通常高反射镜具有多层介质反射膜,而每层介质膜都会成为散射源.散射光的存在一方面给光
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高反镜的背散射是形成激光陀螺腔内背散射的主要原因,散射光降低了器件的精度和灵敏度,通常高反射镜具有多层介质反射膜,而每层介质膜都会成为散射源.散射光的存在一方面给光学系统带来了危害,另一方面它的分布特征为评介光学表面和光学系统提供了重要的信息.通过测量高反镜的背散射,可以建立光散射分布特征与表面粗糙度的关系,从而评介薄膜的质量,确定高反镜的性能,同时可以指导薄膜的设计和制备.根据理论和大量实验发现,在高反镜背散射光方向附近,散射光强变化缓慢,因此可以采用这一区域的小孔立体角内散射光强度表征背散射光强度.根据这一发现,结合全积分散射(TIS)理论在表面粗糙度测量方面的理论,提出了新的测量方法测量薄膜的背散射:立体角积分散射法.在这种思想的指导下,建立了一套二维扫描光散射分布的自动测试系统,测量高反射镜的背散射,该系统包括光学机械部分,光电转换和检测部分,以及测量控制软件等三部分.系统测量的是微弱的光学信号,信号由高灵敏度低噪声的光电倍增管转换为电流信号,然后利用高性能的锁相放大器提取有效信号,送往计算机处理.基于Labview的控制软件具有仪器控制、参数设置、测试监控和数据处理等功能,提高了散射测量的效率.通过样品测试,表明基于立体角积分散射的背散射测试仪具有较好的重复精度和测量精度.
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