高功率激光辐照半导体及金属微观形貌研究

来源 :山东建筑大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：caoerduo

【摘要】

：

激光表面改性主要利用脉冲激光与材料表面发生反应,促进反应的材料表面的形态与性能产生改变,从而达到对材料表面性能的修饰。高功率短脉冲激光对材料的加工能够大大的克服热效应带来的弊端,它具有不需要掩膜、高效率、选择性和可定位性等优点。研究高功率激光对于半导体和金属材料的烧蚀对于材料激光加工和材料微纳结构合成具有重要的现实意义。本实验利用Nd:YAG高功率泵浦调Q激光器,对硅、碳化硅和锌进行了高功率脉冲烧

【作者】

：

田志勇

【出处】

：

山东建筑大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

激光烧蚀激光辐照表面形貌研究氧化锌微球合成

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