用射频磁控溅射方法在铜基体上溅射制备了金属铜、镍薄膜，利用AFM、XRD对铜、镍薄膜进行了结构表征，利用带SEM的三点弯曲实验装置进行结构破坏特征的原位观测，利用纳米压入法进行蠕变等力学性能的测试。 纳米金属薄膜层间及界面应力或应变响应以及损伤(破坏)模型与试验研究是微机械、微电子可靠性的最要保证，但由于元器件尺度小、应力状态复杂以及损伤模式多样直接导致这方面的研究难度大。掌握应力应变在膜基结构间的传递和有效表征及损伤或破坏模式对提高这类结构材料的使用可靠性和改善其加工工艺性均十分重要。本文对铜、铜/镍薄膜进行SEM下的原位三点弯曲试验，直接观测得到了不同弯曲曲率下，薄膜间裂纹盟生与扩展以及皱褶发生与曲率间的变化关系，初步提出了这类膜基结构系统的破坏模式及其表征方程。 纳米金属薄膜材料与具有相同化学成份块体材料的力学性能有较大的差异，纳米金属薄膜具有非常独特的力学性能和微观结构性能关系。各种传统力学性能测试技术与设备已不能直接应用于纳米薄膜材料的性能测试，纳米压入技术为研究纳米薄膜材料的力学性能提供了有效的测试手段。本文对镍薄膜在不同保载载荷和不同加载方式条件下进行了纳米压入蠕变性能测试。研究表明，利用纳米压入法测得的材料瞬时应力与保载时间关系可以很好的描述薄膜材料的室温蠕变性能；随着保载载荷的升高，镍膜蠕变应力指数相应升高；由于单次加载和多次循环加载方式在压头下端产生的加工硬化程度不同，不同的加载方式对镍膜蠕变性能有很大影响。