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以硝酸锌和硝酸钾混合溶液为电解液,采用两电极体系在FTO基片和p-Si(100)衬底上制备了c-轴取向的ZnO薄膜。通过改变电沉积过程的各种参数,获得了具有不同形态和性能的ZnO纳米晶薄膜。研究发现,改变沉积电压和外加超声振动能够对薄膜的形貌和结构产生强烈的影响;不同沉积电压下的薄膜生长方式不同,在较低电压下,薄膜生长方式为岛状生长;随着沉积电压的升高,薄膜的生长方式由岛状变为岛状-层状相结合的方式生长;当沉积电压达到2.8V以后,薄膜按照层状方式生长。本文用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外-可见和