本文针对裸Faraday探针不能准确测量等离子体束流密度分布的情况进行了分析,进而优化设计出校准型Faraday探针。由于定向羽流离子与背景气体中的随机低速中性粒子发生了电荷交换碰撞,产生了低能离子。这些低能离子会影响Faraday探针测量羽流中离子束流密度分布的真实性。因此有必要设计校准型Faraday探针,来过滤电荷交换碰撞产生的低能离子。使得无论设备以什么样的抽速工作,都能用校准型Faraday探针,得到霍尔推力器发出的等离子体羽流中真实的离子流密度分布。本着提高Faraday探针测试精度的设计准则,首先,全面分析了Faraday探针工作的基本工作原理、物理过程和相关工作机制,并提出了一些必要的假设来简化物理过程,以便于理论公式的推导。在此基础上进行了与校准探针基本结构设计有关的比例因子公式推导。接着,按照理论上推导的比例因子公式,确定校准Faraday探针的结构和尺寸。选择校准探针中裸探针和校准筒的材料,进行加工、安装。然后接好测试电路,在一个真空度范围为1.7-2.3×10-3Pa的真空舱里,用一个裸探针和一个校准探针来进行试验。选定801所研制的霍尔推力器工程样机SPT-70进行放电,该发动机功率约为0.6KW,放电时阴极流率为2sccm,阳极流率为16-20sccm。在加偏置电压和不加偏置电压的情况下,对两个探针做性能评估。通过分析试验结果,不仅验证了校准探针预期的性能,即校准型Faraday探针可以过滤电荷交换碰撞产生的低能离子,测得较为真实的离子束流密度分布;还发现了在校准探针的校准筒内探针与等离子体发生了强烈的相互作用,本文从校准筒内部压力和电场等方面进行了分析。本文最后对试验中发现的问题,提出了继续研究的手段和方法,以期能够了解探针内部情况,对探针结构和材料进一步进行优化设计,使校准型Faraday探针可以达到准确测量霍尔推力器羽流的成熟水平。